Caractéristiques diélectriques du sulfure de zinc obtenu par pulvérisation cathodique réactive haute fréquence
Identifieur interne : 001705 ( France/Analysis ); précédent : 001704; suivant : 001706Caractéristiques diélectriques du sulfure de zinc obtenu par pulvérisation cathodique réactive haute fréquence
Auteurs : H. Murray [France] ; A. Tosser [France]Source :
- Thin Solid Films [ 0040-6090 ] ; 1973.
Abstract
Nous avons étudié quelques caractéristiques diélectriques de structures métal/ZnS/métal en couches minces obtenues par pulvérisation, pour des épaisseurs de diélectrique variant entre 100 et 1000 Å.L'étude de la capacité en fonction des différents paramètres physiques de pulvérisation et de fonctionnement (tension continue appliquée, température, fréquence) a montré une particulière stabilité des caractéristiques diélectriques du sulfure de zinc pulvérisé.
Url:
DOI: 10.1016/0040-6090(73)90007-2
Affiliations:
Links toward previous steps (curation, corpus...)
- to stream Istex, to step Corpus: 000690
- to stream Istex, to step Curation: 000690
- to stream Istex, to step Checkpoint: 001747
- to stream Main, to step Merge: 002C88
- to stream Main, to step Curation: 002C07
- to stream Main, to step Exploration: 002C07
- to stream France, to step Extraction: 001705
Links to Exploration step
ISTEX:09B2627D64EC1676F359988344E1F36E51738FE8Le document en format XML
<record><TEI wicri:istexFullTextTei="biblStruct"><teiHeader><fileDesc><titleStmt><title xml:lang="fr">Caractéristiques diélectriques du sulfure de zinc obtenu par pulvérisation cathodique réactive haute fréquence</title><author><name sortKey="Murray, H" sort="Murray, H" uniqKey="Murray H" first="H." last="Murray">H. Murray</name></author><author><name sortKey="Tosser, A" sort="Tosser, A" uniqKey="Tosser A" first="A." last="Tosser">A. Tosser</name></author></titleStmt><publicationStmt><idno type="wicri:source">ISTEX</idno><idno type="RBID">ISTEX:09B2627D64EC1676F359988344E1F36E51738FE8</idno><date when="1973" year="1973">1973</date><idno type="doi">10.1016/0040-6090(73)90007-2</idno><idno type="url">https://api.istex.fr/document/09B2627D64EC1676F359988344E1F36E51738FE8/fulltext/pdf</idno><idno type="wicri:Area/Istex/Corpus">000690</idno><idno type="wicri:Area/Istex/Curation">000690</idno><idno type="wicri:Area/Istex/Checkpoint">001747</idno><idno type="wicri:doubleKey">0040-6090:1973:Murray H:caracteristiques:dielectriques:du</idno><idno type="wicri:Area/Main/Merge">002C88</idno><idno type="wicri:Area/Main/Curation">002C07</idno><idno type="wicri:Area/Main/Exploration">002C07</idno><idno type="wicri:Area/France/Extraction">001705</idno></publicationStmt><sourceDesc><biblStruct><analytic><title level="a" type="main" xml:lang="fr">Caractéristiques diélectriques du sulfure de zinc obtenu par pulvérisation cathodique réactive haute fréquence</title><author><name sortKey="Murray, H" sort="Murray, H" uniqKey="Murray H" first="H." last="Murray">H. Murray</name><affiliation wicri:level="3"><country xml:lang="fr">France</country><wicri:regionArea>Laboratoire d'Electronique et d'Automatique, U.E.R. Sciences et Techniques, B.P. 14, 76083 Le Havre Cedex</wicri:regionArea><placeName><region type="region" nuts="2">Région Normandie</region><region type="old region" nuts="2">Haute-Normandie</region><settlement type="city">Le Havre</settlement></placeName></affiliation></author><author><name sortKey="Tosser, A" sort="Tosser, A" uniqKey="Tosser A" first="A." last="Tosser">A. Tosser</name><affiliation wicri:level="3"><country xml:lang="fr">France</country><wicri:regionArea>Laboratoire d'Electronique et d'Automatique, U.E.R. Sciences et Techniques, B.P. 14, 76083 Le Havre Cedex</wicri:regionArea><placeName><region type="region" nuts="2">Région Normandie</region><region type="old region" nuts="2">Haute-Normandie</region><settlement type="city">Le Havre</settlement></placeName></affiliation></author></analytic><monogr></monogr><series><title level="j">Thin Solid Films</title><title level="j" type="abbrev">TSF</title><idno type="ISSN">0040-6090</idno><imprint><publisher>ELSEVIER</publisher><date type="published" when="1973">1973</date><biblScope unit="volume">17</biblScope><biblScope unit="issue">1</biblScope><biblScope unit="page" from="75">75</biblScope><biblScope unit="page" to="83">83</biblScope></imprint><idno type="ISSN">0040-6090</idno></series><idno type="istex">09B2627D64EC1676F359988344E1F36E51738FE8</idno><idno type="DOI">10.1016/0040-6090(73)90007-2</idno><idno type="PII">0040-6090(73)90007-2</idno></biblStruct></sourceDesc><seriesStmt><idno type="ISSN">0040-6090</idno></seriesStmt></fileDesc><profileDesc><textClass></textClass><langUsage><language ident="fr">fr</language></langUsage></profileDesc></teiHeader><front><div type="abstract" xml:lang="fr">Nous avons étudié quelques caractéristiques diélectriques de structures métal/ZnS/métal en couches minces obtenues par pulvérisation, pour des épaisseurs de diélectrique variant entre 100 et 1000 Å.L'étude de la capacité en fonction des différents paramètres physiques de pulvérisation et de fonctionnement (tension continue appliquée, température, fréquence) a montré une particulière stabilité des caractéristiques diélectriques du sulfure de zinc pulvérisé.</div></front></TEI><affiliations><list><country><li>France</li></country><region><li>Haute-Normandie</li><li>Région Normandie</li></region><settlement><li>Le Havre</li></settlement></list><tree><country name="France"><region name="Région Normandie"><name sortKey="Murray, H" sort="Murray, H" uniqKey="Murray H" first="H." last="Murray">H. Murray</name></region><name sortKey="Tosser, A" sort="Tosser, A" uniqKey="Tosser A" first="A." last="Tosser">A. Tosser</name></country></tree></affiliations></record>Pour manipuler ce document sous Unix (Dilib)
EXPLOR_STEP=$WICRI_ROOT/Wicri/France/explor/LeHavreV1/Data/France/Analysis
HfdSelect -h $EXPLOR_STEP/biblio.hfd -nk 001705 | SxmlIndent | more
Ou
HfdSelect -h $EXPLOR_AREA/Data/France/Analysis/biblio.hfd -nk 001705 | SxmlIndent | more
Pour mettre un lien sur cette page dans le réseau Wicri
{{Explor lien
|wiki= Wicri/France
|area= LeHavreV1
|flux= France
|étape= Analysis
|type= RBID
|clé= ISTEX:09B2627D64EC1676F359988344E1F36E51738FE8
|texte= Caractéristiques diélectriques du sulfure de zinc obtenu par pulvérisation cathodique réactive haute fréquence
}}
| This area was generated with Dilib version V0.6.25. |  |